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发布时间 : 2021-12-08 09:26:42
洁净室的静电防护措施
洁净室是一个超洁净环境,它是通过控制风量、过滤、湿度、温度、气压、电离及室内材料和其他参数得到的。在电子制造业,由于静电的原因,会产生产品的优率,不利于企业的成本维护。
静电产生的主要方式是:摩擦起电、传导带电、感应带电。
摩擦起电:因不同材料的物体接触后再分离,由于不同原子核对电子的束缚能力不同,当两种不同材料物质接触或者摩擦时,外围电子将转移到束缚能力大的一方,导致一材料带正电,另一材料带负电。
传导带电:因为在导体而言,电子能在他的表面自由移动。当与带电体接触时,电子会从发生电荷转移,导致两者电荷平衡,从而形成静电现象。
感应带电:是指邻近电场的感应,对于导体,电子在导电材料表面自由移动,若将该导体放置在另一个静电场中,由于同性电荷相互排斥,异性电荷相互吸引,正、负离子就会发生转移,该导体因静电场感应导致正、负电荷不平衡而形成带电。
洁净室的具体防静电措施如下:
▰建立标准的接地系统。
▰人员的静电防护(洁净室工作人员是较大静电源)。
①洁净室内操作人员须穿防静电服,佩戴防静电手套及腕带。
②操作人员须进行有关静电敏感器件周围的行为控制的培训。
▰洁净室围栏结构防静电(围栏结构包括门窗、地面、墙壁、天花板)使用高导电率材料。
▰生产和操作区域采用防静电地面。
▰湿度水平应控制在百分之40-70合适。
▰生产区域送风管道的送风口安装离子风机。
▰工作台、座椅、推车、周转箱等工具材料要求具备防静电功能。
▰用以包装静电敏感器件的胶带须具备防静电功能。
▰元器件、成品、半成品运输过程中遵守防静电要求。
▰减少摩擦静电,以减少静电的发生。
▰定期对防静电系统进行检查和日常审核。
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