洁净室的静电防护措施

洁净室是一个超洁净环境，它是通过控制风量、过滤、湿度、温度、气压、电离及室内材料和其他参数得到的。在电子制造业，由于静电的原因，会产生产品的优率，不利于企业的成本维护。

静电产生的主要方式是：摩擦起电、传导带电、感应带电。

摩擦起电：因不同材料的物体接触后再分离，由于不同原子核对电子的束缚能力不同，当两种不同材料物质接触或者摩擦时，外围电子将转移到束缚能力大的一方，导致一材料带正电，另一材料带负电。

传导带电：因为在导体而言，电子能在他的表面自由移动。当与带电体接触时，电子会从发生电荷转移，导致两者电荷平衡，从而形成静电现象。

感应带电：是指邻近电场的感应，对于导体，电子在导电材料表面自由移动，若将该导体放置在另一个静电场中，由于同性电荷相互排斥，异性电荷相互吸引，正、负离子就会发生转移，该导体因静电场感应导致正、负电荷不平衡而形成带电。

洁净室的具体防静电措施如下：

▰建立标准的接地系统。

▰人员的静电防护（洁净室工作人员是较大静电源）。

①洁净室内操作人员须穿防静电服，佩戴防静电手套及腕带。

②操作人员须进行有关静电敏感器件周围的行为控制的培训。

▰洁净室围栏结构防静电（围栏结构包括门窗、地面、墙壁、天花板）使用高导电率材料。

▰生产和操作区域采用防静电地面。

▰湿度水平应控制在百分之40-70合适。

▰生产区域送风管道的送风口安装离子风机。

▰工作台、座椅、推车、周转箱等工具材料要求具备防静电功能。

▰用以包装静电敏感器件的胶带须具备防静电功能。

▰元器件、成品、半成品运输过程中遵守防静电要求。

▰减少摩擦静电，以减少静电的发生。

▰定期对防静电系统进行检查和日常审核。